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产品目录
产品技术
半导体
集成电路
iTomic® HiK系列原子层沉积系统
iTronix®系列化学气相沉积系统
iTomic® MW系列批量式原子层沉积系统
iTomic® PE系列等离子体增强原子层沉积系统
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iTronix®系列化学气相沉积系统
iTomic® MW系列批量式原子层沉积系统
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iTomic® HiK系列原子层沉积系统
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iTronix®系列化学气相沉积系统
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iTomic® HiK系列原子层沉积系统
iTronix®系列化学气相沉积系统
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iTomic® Lite系列轻型原子层沉积系统
其他
Trancendor®晶圆真空传输系统
光伏
硼扩散
羲和®系列高温低压系统
退火
羲和®系列高温低压系统
隧穿氧化/多晶硅沉积
祝融系列ZR5000×2管式PECVD ToxPoly All-in-one 系统
祝融系列ZR5000×2管式PEALD/PECVD集成系统
祝融系列ZR5000×3管式PEALD/PECVD集成系统
正膜Al₂O₃/SiNₓ
祝融系列ZR5000×2管式PEALD/PECVD集成系统
祝融系列ZR5000×3管式PEALD/PECVD集成系统
正膜Al₂O₃
夸父®系列KF20000批量式ALD系统
背膜SiNₓ
祝融系列ZR5000×1管式PECVD系统
阻隔封装
电子传输层 SnOₓ
界面层/封装层 AIOₓ
产业化应用中心
产业化应用中心
iOptomic 系列原子层沉积系统
iTomic® PE系列等离子体增强原子层沉积系统
后羿®系列 板式ALD系统
iSparol系列卷对卷ALD系统
iTomic® MW Lite批量轻型系列原子层沉积系统
半导体
我们是成功将量产型 High-𝘬原子层沉积设备应用于集成电路制造前道生产线的国产设备公司,实现了国产ALD设备“从0到1”的突破。我们在逻辑芯片、存储芯片、化合物半导体、新型显示等诸多半导体细分领域实施多元布局,已获得知名客户重复批量订单,跻身为能与国际巨头“同台竞技”民族企业之一。
产品展示
iTomic® HiK系列原子层沉积系统
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iTronix®系列化学气相沉积系统
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iTomic® MW系列批量式原子层沉积系统
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iTomic® Lite系列轻型原子层沉积系统
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iTomic® PE系列等离子体增强原子层沉积系统
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Trancendor®晶圆真空传输系统
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应用领域
集成电路
集成电路是指,在单一芯片上集成数百万甚至数十亿个电子元件,如晶体管和电容器,用于处理和存储信息,是现代电子设备的核心。
泛半导体
泛半导体是一类半导体材料,如氮化镓、碳化硅等,广泛用于制造高频电子元件、LED和高效电源,具有优越的电子特性。
硅基微显示
硅基微显示技术使用硅芯片制造微型显示屏,如OLED,用于智能眼镜、头戴式设备和虚拟现实系统,提供高分辨率的视觉体验。
MEMS
MEMS系统集成微型机械、电子和传感器元件,用于加速计、气压计和惯性导航,实现精确的测量和控制。
先进封装
先进封装技术改进了半导体芯片的性能和连接性,例如3D封装、TSMC CoWoS等,促进了更小、更快、更强大的电子设备的发展。
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业务售后咨询
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